第1个回答 2023-09-16
首台国产光刻机是上海微电子装备（集团）股份有限公司研发的。
上海微电子装备（集团）股份有限公司（简称SMEE）主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务。公司设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域。
SMEE致力于以极致服务，造高端产品，创卓越价值，全天候、全方位、全身心地为顾客提供优质产品和技术服务。SMEE已通过ISO27001信息安全、ISO9001质量管理和ISO14001环境管理等体系的国际认证，力求为客户提供持续、稳定、高品质的产品和服务，并履行一个优秀的高科技企业的社会责任。
SMEE光刻机研发成功的意义
上海微电子公司所研发的“SMEE光刻机”是一台性能堪比先进光刻机的制造设备，其光刻效果能够满足生产高质量的芯片。这一研发的成功，也打破了美国市场对于中国光刻机的垄断，赢得了国内技术的独立与发展。
随着上海微电子的封装光刻机进入国产厂商生产线，对于提升国产芯片自给率，降低国外芯片进口依赖有了更大的帮助。因为封装光刻机也是制造集成电路和半导体器件的关键设备之一，它能够将电路图案转移到半导体材料的表面，是半导体产业中不可或缺的重要设备。
以上内容参考：上海微电子装备（集团）股份有限公司官网-公司简介
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