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如何去除芯片表面的钝化层
如题所述
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推荐答案 2016-03-25
目前通常的做法主要是采用RIE干法刻蚀手段。通过高能等离子体轰击芯片表面钝化层材料,采用物理方法去除钝化层,这种做法对于SiO2, SiNx材料以及磷硅玻璃等非常方便快捷,但是对于
聚酰亚胺薄膜
材料,RIE干法刻蚀技术往往显得无能为力。
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