单晶硅片应力怎样消除？采用退火温度要求多少，时间多长？

如题所述

举报该问题

推荐答案 2023-05-30

在单晶硅片制程中，应力是一大难题。常见的方法是进行热处理，也称作退火。退火能够有效地释放内部应力，提高晶片的机械强度。一般来说，退火的温度可能在800至1100摄氏度之间，而时间可能在数小时到一天。具体的退火条件需要根据硅片的特性和需要解除的应力类型来决定。

温馨提示：答案为网友推荐，仅供参考

当前网址：http://www.wendadaohang.com/zd/15K454n4W.html

第1个回答推荐于2020-12-08

40-45千瓦，时间在1，5-2小时就可以了本回答被网友采纳

第2个回答 2010-12-10

这么专业的技术问题 30分是没人告诉你的

相似回答

晶圆简介及详细资料答：作为层间绝缘的SiO2薄膜是用SiH4和O2在400--4500oC的温度下形成SiH4+O2-SiO2+2H2或是用Si(OC2H5)4(TEOS:tetra ethoxy silanc)和O2在750oC左右的高温下反应生成的,后者即采用TEOS形成的SiO2膜具有台阶侧面部被覆性能好的优点。

半导体单晶硅片翘曲度都和哪些因素有关?答：半导体单晶硅片的翘曲度受多种因素的影响，包括以下几个主要因素：1. 基底材料和制备过程：基底材料的性质和制备过程对硅片的翘曲度起着重要作用。不同的基底材料（如石英、玻璃、硅）具有不同的热膨胀系数和机械性质，从而影响硅片的热应力和翘曲度。2. 温度变化：温度变化会引起硅片的热膨胀和收缩，进...

有机肥用什么原材料好答：精抛光:使用精磨剂改善硅片表面的微粗糙程度,一般去除量1 um以下,从而的到高平坦度硅片。产生精抛废液。检测:检查硅片是否符合要求,如不符合则从新进行抛光或RCA清洗。检测:查看硅片表面是否清洁,表面如不清洁则从新刷洗,直至清洁。包装:将单晶硅抛光片进行包装。芯片到制作成小芯片之前,是一张比较大的外延片...

金属铸件的晶粒往往粗大,能否通过再结晶退火来细化其晶粒?为什么?答：可以，但是之前一定要确定好材料的塑性强度，因为再结晶退火之前，是要冷加工的，说到这里我提醒下，锻造也能一定程度细化晶粒。楼上阿，是一般的退火都是晶粒长大，但是再结晶退火是使晶粒变小，因为再结晶退火之前，对材料进行塑性加工，材料储备了大量的变形能，在再结晶温度时，大量的变形能释放，材料...

LCD 和 LED 的区别?答：精抛光:使用精磨剂改善硅片表面的微粗糙程度,一般去除量1 um以下,从而的到高平坦度硅片。产生精抛废液。检测:检查硅片是否符合要求,如不符合则从新进行抛光或RCA清洗。检测:查看硅片表面是否清洁,表面如不清洁则从新刷洗,直至清洁。包装:将单晶硅抛光片进行包装。芯片到制作成小芯片之前,是一张比较大的外延片...

新型玻璃答：它时将普通平板玻璃在加热炉中加热到接近玻璃的软化温度(600℃)时,通过自身的形变消除内部应力,然后将玻璃移出加热炉,再用多头喷嘴将高压冷空气吹向玻璃的两面,使其迅速且均匀地冷却至室温,即可制得钢化玻璃。这种玻璃处于内部受拉,外部受压的应力状态,一旦局部发生破损,便会发生应力释放,玻璃被破碎成无数小块,...

怎么看显示器是LCD 还是LED的?答：精抛光:使用精磨剂改善硅片表面的微粗糙程度,一般去除量1 um以下,从而的到高平坦度硅片。产生精抛废液。检测:检查硅片是否符合要求,如不符合则从新进行抛光或RCA清洗。检测:查看硅片表面是否清洁,表面如不清洁则从新刷洗,直至清洁。包装:将单晶硅抛光片进行包装。芯片到制作成小芯片之前,是一张比较大的外延片...

要锆钛酸铅 (PZT)的性质制备等一系列东西答：采用电子束蒸发的方法在抛光的200oC AlN陶瓷衬底上淀积厚度为200nm的Ti膜,并在高真空中退火。利用二次离子质谱(SIMS)、卢瑟福背散射谱(RBS)和X射线衍射分析(XRD)技术,研究了从200～850oC温区内Ti与AlN的固相界面反应,给出了界面组分分布随退火温度和时间的变化关系。在界面区发现了三元铝化物并观测到铝化物...

LCD和LED显示器有什么区别?答：DHF清洗:去除上一道工序在硅表面产生的氧化膜。磨片检测:检测经过研磨、RCA清洗后的硅片的质量,不符合要求的则从新进行研磨和RCA清洗。腐蚀A/B:经切片及研磨等机械加工后,晶片表面受加工应力而形成的损伤层,通常采用化学腐蚀去除。腐蚀A是酸性腐蚀,用混酸溶液去除损伤层,产生氟化氢、NOX和废混酸;腐蚀B是碱性腐蚀...

大家正在搜

按应力求解平面问题时常采用单晶硅和多晶硅哪个好单晶硅和多晶硅寿命单晶硅和多晶硅的区别采用应力控制方法张拉时防止机械应力采用什么原则应力怎么求计算地基附加应力采用的外荷载为单晶硅有什么用

单晶硅应力片是怎么产生了？

去应力退火的温度？

去应力退火的温度怎么选择？

纯镍,应力退火的温度,时间各是多少?

20钢去应力退火的退火温度和保温时间各应该是多少？

退火消除Q235内应力需要多少温度和保温时间

一般碳钢焊接件去应力退火处理的温度与时间有什么规定，时间与工...

纯铝的去应力退火温度？