1、战国时期，职掌文献史籍的御史官就已有明显的监察职能。
2、秦代开始形成制度，在中央设立御史大夫，位列三公,以贰丞相,御史府为其官署，掌握天下文书和监察。在地方上,皇帝派御史常驻郡县,称“监御史”，负责监察郡内各项工作。
3、在西汉，中央仍设御史大夫作为长官，御史中丞为副，兼掌皇帝机要秘书和中央监察之职。在地方上，西汉初年废监御史，由丞相随时委派“丞相史”，分刺诸州。
汉武帝时，为加强中央对地方的控制，全国分为13个监察区，叫州部，每个州部设刺史1人，为专职监察官,以“六条问事”,对州部内所属各郡进行监督。
4、隋代时,中央的监察机构仍为御史台,改长官御史中丞为御史大夫，下设治书御史2人为副；改检校御史为监察御史，共12人，专执掌外出巡察。
唐代发展了隋代的监察制度,使监察机构更趋完备。唐初,中央设御史台，由正三品御史大夫为台长，设正四品御史中丞2人为辅佐。御史台称宪台，大夫称大司宪。武则天时，改御史台为左右肃政台。
5、宋代监察机构随着封建专制主义的发展而加强。中央沿袭唐制，御史台仍设三院。地方如设通判，与知州平列，号称监州，有权随时向皇帝报奏，成为皇帝在地方上的耳目。
此外，路一级的转运使、提点刑狱公事等，也负有监察州县的责任。为保证监察御史具有较多的从政经验，宋代明确规定，未经两任县令者不得任御史之职。
6、元代中央设御史台，御史大夫秩高从一品，还在江南和陕西特设行御史台，其组织与中央御史台相同，作为中央御史台的派出机关。这是元代监察制度的重大发展。全国分为22道监察区，各设肃政廉访使（即监察御史）常驻地方，监察各道所属地方官吏。
7、明代监察制度随着君主专制中央集权的强化而得到充分发展和完备。中央将御史台改为都察院，“主纠察内外百官之司”。都察院设左右都御史、副都御史和佥都御史。下设13道监察御史，共110人，负责具体监察工作。
8、清代监察机构沿袭明代，又有所发展。在中央，仍设都察院。
参考资料：百度百科-中国古代监察制度
一、中国古代监察制度的发展及其特点
中国古代监察制度，随同封建制度的产生而萌发，伴随封建专制主义中央集权的建立而诞生，又随着封建君主专制的不断强化而发展、完备，形成了两大系统，一是御史监察系统，二是谏官言谏系统。御史又称之为台官、宪官或察官，是皇帝的耳目，职在纠察官邪，肃正朝纲，主要运用弹劾手段进行监察。谏官又称言官或垣官，职在讽议左右，以匡人君，监察方式主要是谏诤封驳，审核诏令章奏。台官对下纠察百官言行违失，谏官对上纠正皇帝决策失误。二者构成了封建社会完整的监察体制。其发展过程大致可分为下列六个阶段：
(一)先秦时期的萌芽阶段。在夏商周三代的国家事务中已有监察的因素或监察的活动。春秋战国时的御史已兼有监察的使命。但这个时期尚未产生专职的监察机构，作为一种严格意义上的监察制度还没有建立。
(二)秦汉时期的形成阶段。秦创建御史大夫府为中央监察机构，在地方设置监郡御史。汉承秦制，在中央设御史府的同时，增设丞相司直和司隶校尉为中央监察官，在地方设立十三部剌史，监察地方二千石长吏，并制定了第一个专门性的地方监察法规，给事中与谏议大夫等言官也已问世。
(三)魏晋南北朝时期的发展阶段。中央御史台脱离少府，直接受命于皇帝，废司隶校尉，监察机构初步统一，监察权扩大，自王太子以下无所不纠。谏官系统开始规范化、系统化，南朝建立了专门负责规谏的集---书省。
(四)隋唐时期的成熟阶段。隋设御史台、司隶台、竭者台，分别负责内外监察。唐在御史台下设台院、殿院、察院，分工明确，互相配合，地方则分十道(后增至十五道)监察区，形成比较严密的监察网。谏官组织分隶中书、门下两省，形成台谏并立局面。
(五)宋元时期的强化阶段。宋设立谏院，台谏职权开始混杂，趋向合一，地方监察设监司和通判，直隶皇帝。至元朝，取消谏院，台谏合一。地方设行御史台，统辖二十二道监察区，每道设肃政廉访使(提刑按察司)，从而使中央与地方在监察机构上浑然一体。元朝还制定了一整套的监察法规。
(六)明清时期的严密阶段。明改御史台为都察院，又罢谏院，设六科给事中，成为六部的独立监察机构，科道并立。地方设十三道巡按御史和各省提刑按察司，同时设督抚，形成地方三重临察网络。至清朝，将六科给事中归属都察院，科道合一，地方监察沿用明制。至此，我国古代监察系统达到了高度的统一和严密。清朝还以皇帝的名义制定了我国古代最完整的一部监察法典《钦定合规》。这时期，中国封建监察制度已发展到了历史的顶峰。本回答被提问者和网友采纳