光刻分辨率和树脂的关系

Question

如题所述

Answer 1

光刻分辨率和树脂的关系：

树脂越纯越透，光刻分辨率越清晰。光刻加工分辨率直接关系到芯片特征尺寸大小，而光刻胶的性能关系到光刻分辨率的大小。限制光刻分辨率的是光的干涉和衍射效应。光刻分辨率与曝光波长、数值孔径和工艺系数相关。
光刻胶主要成分：

树脂（聚合物）：在光照下不发生化学反应，主要作用是保证光刻胶薄膜的附着性和抗腐蚀性，也决定了一些其他特性如膜厚、弹性、热稳定性等。

感光剂：受特定波长光照后在曝光区发生光固化反应，使得材料的物理特性，尤其是溶解性发生显著变化。

溶剂：为了方便涂覆，要将溶质加入溶剂进行溶解，形成液态物质。

添加剂：用以改变光刻胶的某些特性，如为改善发生反射而添加染色剂等。

成膜树脂是光刻胶的主要成分，决定光刻胶的抗刻蚀性、分辨率和溶解性；占光刻胶组成的20-50％、成本的30-70％。目前，高分辨率光刻胶用成膜树脂主要为聚对羟基苯乙烯及其衍生物、聚碳酸酯和分子玻璃等，原料来源于石油化工，为不可再生资源、成本日益昂贵。纤维素是一种绿色可再生资源，以每年1.5×1012吨的速度再生，具备成膜特性。同时，高分辨率成膜树脂对树脂分子量也有要求，有机小分子相对高分子更加具有制备高分辨率光刻胶的潜力。由于纤维素是由大量重复的葡萄糖单元通过糖苷键连接而成，可被水解为由若干个葡萄糖单元组成的纳米纤维素，使其具有制备高分辨率光刻胶用成膜树脂的可能；同时，降低现有成膜树脂的制造成本和环境影响。

Answer 2

树脂越纯越透，光刻分辨率越清晰。光刻加工分辨率直接关系到芯片特征尺寸大小，而光刻胶的性能关系到光刻分辨率的大小。限制光刻分辨率的是光的干涉和衍射效应。光刻分辨率与曝光波长、数值孔径和工艺系数相关。