真空等离子清洗机清洗效果不佳是怎么回事？

Question

我想问一下真空等离子清洗机有时候清洗硅片的时候效果不理想是怎么回事？

Answer 1

故障原因：清洗时间过短、气体流量过小、真空度不足。

解决方案：适当延长清洗时间，保证足够的清洗时间；调整气体流量，保证气体充足；检查真空度，确保真空度符合要求。