pi膜镀二氧化硅退火二氧化硅会裂开

如题所述

您要问的是pi膜镀二氧化硅退火二氧化硅会裂开怎么办?可以控制退火温度和退火时间、采用缓慢升温和降温的方式。
1、控制退火温度和退火时间:合理选择退火温度和时间,避免过高的温度和过长的时间导致应力过大。
2、采用缓慢升温和降温的方式:通过缓慢升温和降温的方式,可以减少热应力的产生,降低裂纹的风险。
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