真空镀膜机不能抽高真空

Question

哪位高手帮帮忙
我现有一台韩一真空镀膜机抽真空时高真空经常抽不到，一直显示OFF，但关机后再开有时能恢复正常，
图片上的数值为正常状态，但有时就不行，CH2的值达到3.8E－4时就不动啦，CH3的值一直显示OFF，高真空无法抽，扩散泵油也换过拉，不存在漏气的现象，请高的指点一下，谢啦
没人了解吗？

Answer 1

真空计坏了，电子系统的问题。抽气系统应该不存在问题。让厂家过来检修吧，也许这整个控制模块都要换掉。

Answer 2

你确认你的传感器不存在问题吗，有时传感器用久了会产生高真空不灵敏状态。
比如，它会真空度从80000不动，接下来可能会在1000时才会动，显示正常。
楼主等你解除真空后大气状态下第二天你再用，看是否好用，可能是真空传感器有问题。
希望能帮到你。

Answer 3

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。
蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。 对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。
电控柜操作
1. 开水泵、气源。
2. 开总电源。
3. 开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。
4. 开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。
5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和
高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。

DEF-6B操作
1. 总电源。
2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。
3. 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。

关机顺序
1. 关高真空表头、关分子泵。
2. 待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。
3. 到50以下时，再关维持泵。
适用范围
1．建筑五金：卫浴五金（如水龙头）．门锁．门拉手．卫浴、五金合叶、家具等。
2．制表业：可用于表壳．表带的镀膜、水晶制品。
3．其它小五金：皮革五金．不锈钢餐具．眼镜框、刀具、模具等．
4．大型工件：汽车轮毂、不锈钢板．招牌．雕塑等。
5、不锈钢管和板（各种类型表面）
6、家具、灯具、宾馆用具。
7、锁具、拉手、卫浴五金、高尔夫球头、不锈钢餐具、器血等五金制品镀超硬装饰膜。
8、手表、表带、眼镜、首饰等装饰品镀超耐磨装饰（金银）纳米膜和纳米膜和纳米叠层膜。

Answer 4

有可能高真空SENSOR不好了.

Answer 5

1.确认是否有漏气。如果不能检漏，那就通过保压来判断？
2.判断真空机读数是否有误？找一个同类型的真空机试一下就知道了。本回答被提问者采纳